熱門關(guān)鍵詞:離子鍍膜真空鍍膜加工東莞電鍍廠家五金電鍍加工
現(xiàn)如今普通的五金電鍍加工技術(shù)越來(lái)越不能滿足電鍍市場(chǎng)的需求,一家東莞電鍍廠家意識(shí)到這一點(diǎn)的市場(chǎng)空缺,在原來(lái)技術(shù)基礎(chǔ)上率先引進(jìn)了目前市場(chǎng)上很好的濺射鍍膜技術(shù),東莞市千屹真空技術(shù)有限公司所采用的電鍍均為通過(guò)檢測(cè)的“真金”電鍍,不是那種通過(guò)化學(xué)配方所配的“化學(xué)金”。
基片置于正對(duì)靶面的陽(yáng)極上,距靶幾公分。體系抽至高真空后充入 10~1帕的氣體(一般為氬氣),在陰極和陽(yáng)極間加幾千伏電壓,南北極間即發(fā)作輝光放電。放電發(fā)作的正離子在電場(chǎng)作用下飛向陰極,與靶外表原子磕碰,受磕碰從靶面逸出的靶原子稱為濺射原子,其能量在1至幾十電子伏規(guī)模。濺射原子在基片外表堆積成膜。五金電鍍加工中的濺射鍍膜與蒸騰鍍膜不一樣,濺射鍍膜不受膜材熔點(diǎn)的約束,可濺射W、Ta、C、Mo、WC、TiC等難熔物質(zhì)。
濺射化合物膜可用反響濺射法,行將反響氣體 (O、N、HS、CH等)參加Ar氣中,反響氣體及其離子與靶原子或?yàn)R射原子發(fā)作反響生成化合物(如氧化物、氮化物等)而堆積在基片上。堆積絕緣膜可采用高頻濺射法?;b在接地的電極上,絕緣靶裝在對(duì)面的電極上。高頻電源一端接地,一端經(jīng)過(guò)匹配網(wǎng)絡(luò)和隔直流電容接到裝有絕緣靶的電極上。接通高頻電源后,高頻電壓不斷改變極性。
等離子體中的電子和正離子在電壓的正半周和負(fù)半周別離打到絕緣靶上。因?yàn)殡娮舆w移率高于正離子,絕緣靶外表帶負(fù)電,在到達(dá)動(dòng)態(tài)平衡時(shí),靶處于負(fù)的偏置電位,從而使正離子對(duì)靶的濺射繼續(xù)進(jìn)行。采用磁控濺射可使堆積速率比非磁控濺射進(jìn)步近一個(gè)數(shù)量級(jí)。